Wat is 'n hoë suiwerheid alumina keramiek wafer poleerplaat?

Met die vinnige ontwikkeling van die halfgeleierbedryf het die skaal van die bedryf vinnig toegeneem, en halfgeleiervervaardigingstoerusting het voortgegaan om te ontwikkel na presisie en kompleksiteit. Omdat keramiek die voordele van hoë hardheid, hoë elastisiteitsmodulus, hoë slytasieweerstand, hoë isolasie, korrosiebestandheid, lae uitsetting, ens. het, kan dit gebruik word as onderdele van silikonpoleermasjiene, epitaksiale/oksidasie/diffusie-hittebehandelingstoerusting, litografiemasjiene, afsettingstoerusting, halfgeleier-etstoerusting, iooninplantingsmasjiene en ander toerusting, dus beïnvloed die navorsing en ontwikkeling en produksie van presisie-keramiekonderdele direk die ontwikkeling van die halfgeleierbedryf. Die tegniese vereistes vir die voorbereiding daarvan word al hoe hoër.

Hoë suiwerheid alumina, 99.7%-99.9% alumina.
Hoë meganiese sterkte, hoë slytasieweerstand, hoë elektriese isolasie, hoë chemiese stabiliteit, goeie hittebestandheid en korrosiebestandheid. Tans is die gebruik van keramiek slypskywe vir die slyp van halfgeleier-silikonwafers die mees voortreflike en gevorderde slypmetode. Die dubbelsydige slypproses word gebruik om die gesnyde silikonwafer te slyp, en die kwaliteit van die slypwafer word verbeter deur die slypproses (skyfmateriaal, slypvloeistof, slypdruk en slypspoed, ens.) te verbeter. In die besonder, die gebruik van keramiekplate in plaas van gietysterplate, om slyp op die hoofoppervlak van die wafer wat deur letsels of besoedeling veroorsaak word, te vermy, die invoer van metaalione te verminder, die daaropvolgende verwerking van silikon te verminder, die daaropvolgende proses (korrosie) tyd te verkort, produksiedoeltreffendheid te verbeter en die verlies van silikonverwerking te verminder, die benutting van silikon aansienlik te verbeter.

Hoë alumina wafer poleerplaatword gebruik in halfgeleier-, petroleum-, chemiese-, fotovoltaïese-, vloeibare kristal- en ander nywerhede, soos meganiese onderdele, elektroniese onderdele, mikrogolfinduksieskyf, isolasiemateriaal en ander onderdele, halfgeleiertoestelle, vakuumtoerusting, vloeibare kristalvervaardigingstoerusting en ander onderdele. Groot en hoë suiwerheid alumina-keramiek het belangrike toepassingswaarde in die saffierbedryf en halfgeleierskyfiebedryf. Dit is 'n sleutelondersteuning en verbruikbare materiaal vir chemiese meganiese polering (CMP) van saffier- en halfgeleier-silikonwafers. Groot en hoë suiwerheid alumina-keramiek kan ook as 'n alumina-substraat vir LCD gebruik word.